Swapnadip De,Manash Chanda and Chandan Kumar Sarkar - Channel And Gate Engineered Double Gate MOSFET. The VMOS transistor, named after the V-shaped groove, is a vertical MOSFET with high current handling capability as well as high blocking voltage. It consists of a double diffused n + /p layer, which is cut by a V-shaped groove as shown in Figure 7.8.2.a. The V-groove is easily fabricated by anisotropically etching a (100) silicon surface using.
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
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